说明：

该设备对不同的LoadPort，Robot，Buffer，Upender, Aligner, 检测工位，工艺腔等硬件组合实现灵活配置以及调度；并且稳定运行。

设备实现E5/E30/E37/E40/E94/E87。

设备可以灵活集成多种量测设备以及工艺设备。

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